分子泵过流；；；；；；；し治涌熘泄鞅；；；；；；；び牒闼僭诵兄泄鞅；；；；；；；ち街智榭觯，，，，，，应别离诊断：
（1）加快中过流；；；；；；；
?可能情况：系统漏气、真空度较差
?检测步骤及建议：
?1）观察分子泵前级真空度是否优于10Pa；；；；；；；
?2）用检漏仪对系统进行整机检漏，，，，，，，确保系统无漏；；；；；；；
?3）确保系统漏率在允许领域内且前级优于10Pa后沉启分子泵。。。。。。。
（2）恒速运行中过流；；；；；；；
?可能情况：分子泵运行中负载突变
?检测方式及建议：
?1）观察系统真空度变动过程；；；；；；；
?2）若出现较显著变动（如10^-4Pa降至10^-1Pa），，，，，，，则会出现过流；；；；；；；で榭。。。。。。。

分子泵在运行过程中必要进行冷却，，，，，，，分风冷和水冷两种。。。。。。。应别离诊断：
（1）水冷分子泵
???????? 可能情况1：水流量、水压、水温、环境温度异常
???????? 检测步骤及建议1：
???????? 1）查抄水流量是否大于1L/min，，，，，，，水压是否高于0.15MPa；；；；；；；
???????? 2）水温是否低于25℃，，，，，，，环境温度是否低于40℃；；；；；；；
???????? 3）上述前提如不满足，，，，，，，建议客户改善表部环境，，，，，，，从而保障设备正常运行。。。。。。。
???????? 可能情况2：分子泵水路梗塞
?????????检测步骤及建议2：
???????? 1）正常通水的情况下，，，，，，，将出水管拔出，，，，，，，查抄水流情况，，，，，，，判断梗塞的严沉水平；；；；；；；
???????? 2）若属于通常梗塞（出水量约莫为进水量的1/2），，，，，，，建议增大水压或选取压缩空气冲刷水路；；；；；；；
???????? 3）若属于沉度梗塞（出水量不及进水量的1/3）且冲刷无效，，，，，，，建议返厂维建。。。。。。。
???????? 可能情况3：热继电器败坏
???????? 检测步骤及建议3：
???????? 1）报警后，，，，，，，；；；；；；；2～3幼时（维持冷却），，，，，，，用万用表丈量分子泵热继电器阻值；；；；；；；
???????? 2）8芯产品丈量6、8脚，，，，，，，12芯产品丈量5、6脚，，，，，，，若继电器败坏，，，，，，，属于开路状态；；；；；；；
???????? 3）热继电器败坏时，，，，，，，建议返厂维建。。。。。。。
（2）风冷分子泵
???????? 可能情况1：环境温度异常
???????? 检测步骤及建议1：
???????? 环境温度是否低于35℃，，，，，，，若不满足，，，，，，，建议用户改善表部环境，，，，，，，以保障分子泵正常运行；；；；；；；
???????? 可能情况2：热继电器败坏
???????? 检测步骤及建议2：
???????? 1）报警后，，，，，，，；；；；；；；2～3幼时，，，，，，，用万用表丈量热继电器器阻值；；；；；；；
???????? 2）8芯产品丈量6、8脚，，，，，，，12芯产品丈量5、6脚，，，，，，，若继电器败坏，，，，，，，属于开路状态；；；；；；；
???????? 3）热继电器败坏时，，，，，，，建议返厂维建。。。。。。。
???????? 可能情况3：电扇未运行、导线故障
???????? 检测步骤及建议3：
???????? 1）查看电扇能否正常运行，，，，，，，并凭据具体情况选择是否更换电扇；；；；；；；
???????? 2）查抄电扇供电线是否有断路或许虚接，，，，，，，以保障供电正常。。。。。。。
???????? 可能情况4：节造器电扇插座无电压输出
???????? 检测步骤及建议4：
???????? 用万用表丈量电扇插座输出电压是否正常，，，，，，，并凭据具体情况进行建复。。。。。。。
???????? 可能情况5：电缆线故障
???????? 检测步骤及建议5：
???????? 丈量电缆线导线是否有虚接、断路等情况，，，，，，，并实时建复，，，，，，，而后即可正常使用。。。。。。。
???????? 可能情况6：节造器败坏
???????? 检测步骤及建议6：
???????? 1）将分子泵端电缆线与泵脱开，，，，，，，短接6、8脚（8芯泵）或5、6脚（12芯泵）；；；；；；；?
???????? 2）关合节造器电源开关，，，，，，，若是节造器显示过热报警，，，，，，，建议返厂维建。。。。。。。

分子泵过载；；；；；；；し治氐闫德使睾推渌德使乇；；；；；；；ち秸徘榭觯，，，，，，应别离诊断：
（1）特点频率过载
?????????可能情况：轴承败坏、叶片卡死、碎泵
?????????检测方式及建议：
?????????1）油光滑分子泵，，，，，，，光滑油短功夫变黑；；；；；；；换油后短功夫再次变黑注明轴承败坏；；；；；；；
?????????2）油光滑分子泵，，，，，，，动弹供油锥；；；；；；；脂光滑分子泵动弹叶片，，，，，，，若是能够动弹但手脱离后顿时终场或有显著的迟滞景象，，，，，，，注明轴承败坏；；；；；；；若是不能动弹，，，，，，，注明叶片卡死或碎泵；；；；；；；
?????????3）上述情况，，，，，，，建议返厂维建。。。。。。。
（2）其它频率过载
???????? 可能情况1：分子泵加快中持久漏气，，，，，，，电流过大
???????? 检测步骤及建议1：
?????????1）观察分子泵前级真空度是否优于10Pa；；；；；；；
?????????2）用检漏仪对系统进行整机检漏，，，，，，，确保系统漏率在允许领域内；；；；；；；
?????????3）确保系统漏率在允许领域内且前级优于10Pa后沉启分子泵。。。。。。。
?????????可能情况2：前级真空度偏低
???????? 检测步骤及建议2：
?????????丈量分子泵前级口真空度，，，，，，，确保优于10Pa，，，，，，，并无漏气后，，，，，，，再次启动分子泵。。。。。。。
?????????可能情况3：前级阀败坏
???????? 检测步骤及建议3：
?????????取下前级阀进行检测，，，，，，，如败坏则更换。。。。。。。
???????? 可能情况4：电缆线故障
?????????检测步骤及建议4：
?????????丈量电缆线导线自身是否有虚接、断路等情况，，，，，，，并实时建复，，，，，，，而后正常启动分子泵。。。。。。。
???????? 可能情况5：节造法式问题
?????????检测步骤及建议5：
?????????查看节造器工作频率与所使用分子泵是否一致，，，，，，，若不匹配，，，，，，，建议将节造器返厂维建。。。。。。。

可能原因：光阑或镜筒受传染
（1）物镜光阑传染必要高温洗濯或更换；；；；；；；
（2）镜筒传染严沉，，，，，，，必要洗濯；；；；；；；
处置步骤：
（1）先调节物镜光阑杆更换光阑，，，，，，，调节消像散至图像清澈；；；；；；；
（2）如上述步骤失效，，，，，，，注明镜筒传染，，，，，，，需进行守护保养，，，，，，，洗濯守护。。。。。。。
补充注明：
????? 通常情况下，，，，，，，电子束斑是圆形的，，，，，，，由于电子光学镜筒轻微传染或光阑传染，，，，，，，电子束斑呈椭圆形，，，，，，，消像散器用于建改这个椭圆形斑束。。。。。。。